半導體廠凈化車間特性決定其制造過程必須有潔凈度要求，半導體廠潔凈棚定制要求百級潔凈棚，百級潔凈棚是一種簡易的潔凈室，可快速提高區(qū)域潔凈度的設備。以工業(yè)鋁材（或不銹鋼方通、鐵方通烤漆）作為框架，采用滿布風機濾網(wǎng)機組FFU送風，四周圍用防靜電垂簾（或鋼化玻璃），內部凈化級別可達百級，潔凈棚由于其低成本、方便快捷、靈活組裝，廣泛用于光電、電子流水線作業(yè)、實驗室、組裝區(qū)域等局部高潔凈度場合。
百級潔凈棚的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。正是因為這樣，所以百級潔凈棚的頂部必須滿布高效過濾器送風單元，而且必須通過風淋室進出。
百級潔凈棚利用HEPA級高效過濾器過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
百級潔凈棚工作原理：
要使內部凈化級別達到百級（100級）或以上就要使室內的潔凈氣流形成單向垂直流。就是說在潔凈棚內的氣流在同一截面的任意一點氣流的方向和速度保持一致，這樣就可以使?jié)崈魵饬飨蠡钊粯訉⑹覂鹊膲m埃粒子以最快的速度帶走。要實現(xiàn)垂直流就要將高效過濾器布滿屋頂，才能實現(xiàn)單向垂直流，達到潔凈度100級或以上的級別。
而對于千級到十萬級的(1K-100K)潔凈棚：
其氣流組織方向和Class1-100潔凈棚不同，內部的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，伴有回流和渦流，它主要靠潔凈的氣流不斷稀釋內部空氣，將內部的污染逐漸排出，來實現(xiàn)潔凈效果。要實現(xiàn)潔凈棚的等級不同，主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現(xiàn)的。
